大分デバイステクノロジー株式会社

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設備保有リスト

製造装置


プロセス 装置 写真
成膜
(スパッタ)
ULVAC SH-450
成膜
(蒸着)
ULVAC EBX-8C
リソグラフィー
(塗布・現像)
TEL Mark-Ⅴ
リソグラフィー
(露光)
Nikon NSR-2205i11
エッチング
(DRY)
SAMCO RIE-10NR
エッチング&洗浄
(Wet & Wash)
ダン・タクマ
HWC-6006

検査測定装置



表面検査 WM-3・金属顕微鏡
膜厚測定 エリプソメータ・ナノスぺック・段差計
寸法測定 レーザー顕微鏡
XY平行器 メジャーNAVI

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