大分デバイステクノロジー株式会社

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前工程・試作量産サービス

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試作/量産

2インチ、4インチウエハーに最小0.5um幅のパターン形成が可能です。

  • 配線パターン解像度
    配線パターン解像度
  • ホールパターン解像度
    ホールパターン解像度

パワートランジスタモジュール
ハーフインチの膜付け処理が可能です。(Pt/Ti/Al/Ni/Au等)

6.8インチ テストウエハー製作も承ります

試作のフロー

シリコン基板での6インチ、8インチの膜付け、パターニング加工も承ります。
低パーティクルで 100nmクラスのパターニングが可能です。(8インチ Si基板の場合)

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